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单片集成的低暗电流1.3 μm激光二极管和探测器芯片

为了在单片上实现半导体激光二极管与探测器的集成, 开展了外延材料生长及结构工艺的设计研究。通过刻蚀工艺引入隔离区的方法制备......

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半导体激光二极管背光探测器隔离区低暗电流 semiconductor laser diode monitoring photo diode isolati

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